1、将氦质谱检漏仪HLT560连接到泵组前的检漏口上.

2、启动检漏仪, 检漏仪开始抽取镀膜机腔体中的空气,同时启动镀膜设备的泵组.

3、在镀膜机腔体内部的真空下降到一定程度(0.5 mbar)以下的时候,,将氦气喷在疑似有漏的地方,或者检查标准保养时动到的部位.这时观察检漏仪的漏率变化.当漏率上升或漏率值变化剧烈的时候,及时标记漏点位置.

4、所有可疑点都检测完成后,关闭检漏仪,停下镀膜机的泵组并将镀膜机腔体打开,将检测出的漏点进行处理(如更换密封圈,清洁等),处理完成后,再按照上述步骤检查一遍,直到所有漏点都被清除,检漏过程就完成了.