真空腔体是保持内部为真空状态的容器,真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。

不锈钢是目前超 高真空系统的主要结构材料。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%～20%的低碳钢,具有良好的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270～900℃工作等,在高真空和超 高真空系统中,应用较广。